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物理黏附吸盤

供稿：本站 | 發(fā)表日期：2024-09-16 | 點(diǎn)擊數(shù)： 96 次

l  產(chǎn)品介紹

PSC物理吸盤是針對(duì)大尺寸晶圓和玻璃基板ODF真空貼合設(shè)備的核心器件?？梢员ＷC在高真空（＜0.3Pa）環(huán)境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）貼合。

PSC物理吸盤原理.png

l  產(chǎn)品優(yōu)勢


靜電吸附

物理吸附

吸附原理

庫侖力

分子間作用力

接觸材料

聚酰亞胺

帶微結(jié)構(gòu)橡膠

貼合精度

受靜電力殘留和影響會(huì)發(fā)生中心偏移

 

非常穩(wěn)定

吸附時(shí)間

比物理吸附多5-10s

120s以下

靜電

易發(fā)生

無靜電

故障相關(guān)

異物影響大，易發(fā)生故障，更換不變

異物影響小，易更換，故障率低

產(chǎn)品依賴

易受產(chǎn)品本身電氣性影響

無影響，較穩(wěn)定

l  產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

  • 產(chǎn)品編號(hào)：AD-PSC-AC16

AD-PSC-AC16.jpgAD-PSC-AC16三維圖.png


  • 產(chǎn)品編號(hào)：AD-PSC-AC16L

AD-PSC-AC16L.jpgAD-PSC-AC16L三維圖.png

l  產(chǎn)品力學(xué)特性

AD-PSC-AC16力學(xué)特征.png

編號(hào)

條目

單位

指標(biāo)

備注

1

材料


橡膠

聚酯工業(yè)橡膠

2

使用壽命

年/次

3年/15萬次

以先到為準(zhǔn)

3

平整度

μm

＜10μm

激光測定

4

黏著力

N/cm2

18-25

10N預(yù)壓力，石英玻璃

5

使用溫度

℃

＜60℃

溫度越高，黏附力越低

6

清潔方法

-

IPA/Ethanol

用無塵布擦拭處理，不可浸泡


  • 產(chǎn)品編號(hào)：AD-PSC-AC28

AD-PSC-AC28.pngAD-PSC-AC28三維圖.png

l  產(chǎn)品特征

AD-PSC-AC28真空物理吸盤是針對(duì)大尺寸晶圓和玻璃基板ODF真空貼合設(shè)備的核心器件?？梢员ＷC在高真空（＜0.3Pa）環(huán)境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）貼合。其通過氣囊充氣脫附，自動(dòng)化程度高。


l  產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

①　應(yīng)用行業(yè)：LCD， OLCD， SEMICON

②　應(yīng)用工藝：真空貼合，真空鍍膜，先進(jìn)封裝，晶圓搬運(yùn)

③　應(yīng)用設(shè)備：真空貼合機(jī)，PVD，CVD，封裝設(shè)備，半導(dǎo)體機(jī)器人

④　應(yīng)用對(duì)象：玻璃，硅片，陶瓷，薄膜


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