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真空物理吸盤是針對大尺寸晶圓和玻璃基板ODF真空貼合設(shè)備的核心器件?？梢员ＷC在高真空（＜0.3Pa）環(huán)境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）貼合。其通過氣囊充氣脫附，自動化程度高。
真空物理吸盤是針對大尺寸晶圓和玻璃基板ODF真空貼合設(shè)備的核心器件。可以保證在高真空（＜0.3Pa）環(huán)境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）貼合。其通過氣囊充氣脫附，自動化程度高。
PSC物理吸盤是針對大尺寸晶圓和玻璃基板ODF真空貼合設(shè)備的核心器件?？梢员ＷC在高真空（＜0.3Pa）環(huán)境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）貼合。
PSC物理吸盤是針對大尺寸晶圓和玻璃基板ODF真空貼合設(shè)備的核心器件?？梢员ＷC在高真空（＜0.3Pa）環(huán)境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）貼合。