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PSC高溫物理吸盤 AD-PSC-HTAC16
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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品用于泛半導(dǎo)體行業(yè)中高真空、環(huán)境下光滑、易碎材料表面(玻璃、顯示屏、晶圓等)的重復(fù)固定與搬運(yùn)需求,解決機(jī)械夾持易劃傷、化學(xué)膠易殘膠、真空吸盤無法用等技術(shù)問題?；诜兜氯A力黏附原理,成功研發(fā)了TFT-LCD成盒工藝中真空貼合仿生黏附墊產(chǎn)品,表面結(jié)構(gòu)的仿生設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了界面裂紋擴(kuò)展的抑制功能。
產(chǎn)品說明
編號(hào)條目單位指標(biāo)備注
1材料-橡膠特種無殘留橡膠
2使用時(shí)間年/次3年/15萬次根據(jù)客戶使用環(huán)境定,需定期清潔
3平整度μm＜10μm激光測(cè)定
4氣囊凸起高度μm00-125μm0.5Kpa氣壓
5黏著力N/cm22010N預(yù)壓力，石英玻璃
6使用溫度℃-40-260℃溫度越高，黏附力越低
7清潔方法-IPA/Ethanol用無塵布擦拭處理，不可浸泡
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
-靜電吸附物理吸附
吸附原理庫侖力分子間作用力
接觸材料聚酰亞胺帶微結(jié)構(gòu)橡膠
貼合精度受靜電力殘留和影響會(huì)發(fā)生中心偏移非常穩(wěn)定
吸附時(shí)間比物理吸附多5-10s120s以下
靜電易發(fā)生無靜電
故障相關(guān)異物影響大，易發(fā)生故障，更換不變異物影響小，易更換，故障率低
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用行業(yè)：LCD， OLCD， SEMICON

應(yīng)用工藝：真空貼合，真空鍍膜，先進(jìn)封裝，晶圓搬運(yùn)

應(yīng)用設(shè)備：真空貼合機(jī)，PVD，CVD，封裝設(shè)備，半導(dǎo)體機(jī)器人

應(yīng)用對(duì)象：玻璃，硅片，陶瓷，薄膜