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中文
晶圓搬運(yùn)真空吸盤
產(chǎn)品介紹
機(jī)械真空吸附通過真空泵創(chuàng)建負(fù)壓環(huán)境，真空泵用于從吸附區(qū)域抽氣，從而降低壓力，通過在晶圓與吸附盤之間產(chǎn)生真空區(qū)域來固定晶圓。通常需要來確保吸附區(qū)域的密封，防止外界空氣進(jìn)入，這樣可以產(chǎn)生足夠的吸力來穩(wěn)定地吸附晶圓。同時(shí)要求吸盤本身不和晶圓發(fā)生自粘和印記析出，這樣可以保證晶圓的無損釋放。
產(chǎn)品規(guī)格
編號條目指標(biāo)
1尺寸定制
2材質(zhì)FKM/FFKM
3固定方式機(jī)械固定
4使用壽命≧100000次
5工作溫度-40℃-300℃
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用行業(yè):自動化領(lǐng)域,搭配機(jī)械管。

應(yīng)用工藝:晶圓搬運(yùn)。

應(yīng)用設(shè)備:機(jī)械臂末端。